1BM.ru - Первый машиностроительныйВернуться на главную страницу порталаКонтактная информация

Первый Машиностроительный Портал

информационно-поисковая система
Форма для связи
 
Каталоги предприятий
Предприятия машиностроения
Поставщики проката, поковок, отливок
Работы и услуги для машиностроения
Библиотека портала
ГОСТы, ОСТы, ТУ
Марочник металлов и сплавов
Бесплатные программы
Реклама на портале
Отраслевой форум
Последние поступления
Всего доступных документов: 70850
Новые карточки НТД: ГОСТ, ОСТ, ТУ
Добавить документ
Ваше положение в каталоге нормативных документов:
Технологическое оборудование для изготовления изделий электронной и радиопромышленности - Каталог ГОСТ
Номер:
Название: Оборудование вакуумное. Установки для ионной имплантации. Общие технические требования.
ОКС: 23.160
Вступил в действие: С 01.07.83
Страниц: 3 (А5)
Описание ГОСТ 25196-82: Настоящий стандарт распространяется на установки для ионной имплантации (далее — установки), предназначенные для внедрения ионов твердых, газообразных и жидких веществ от 1 до 131 а.е. м , в том числе элементарных и многозарядных ионов бора, фосфора, цинка, мышьяка, селена и сурьмы с эквивалентной энергией ионов от 10 до 1200 кэВ при изготовлении полупроводниковых приборов, интегральных схем и других изделий микроэлектроники.

Стандарт полностью соответствует СТ СЭВ 2760-80.

ГОСТ 25196-82 расположен в разделе: Технологическое оборудование для изготовления изделий электронной и радиопромышленности - Каталог ГОСТ. [Открыть]
Файлы документа в наличии:
ГОСТ 25196-82.pdf передан 16.03.2008
Документ ГОСТ 25196-82 предоставлен участником портала.
Варианты получения документа ГОСТ 25196-82:
Приобретите доступ к документу ГОСТ 25196-82
Стоимость услуги - 330,00р.

Обратите внимание на возможность приобрести доступ к 10 документам за 4000р.
или получить документ бесплатно по обмену.

Если Вы обладаете новыми изменениями к документу ГОСТ 25196-82, не указанными в карточке, Вы можете передать их в библиотеку и принять участие в программе обмена документами (получить ответный доступ к двум документам).
Авторизоваться в системе:
ЛогинПароль(забыли?)
Copyright © 2006-2025, All rights reserved.
Rambler's Top100