Описание ТУ 48-4-276-92: Настоящие технические условия распространяются на арсенид галлия монокристаллический и поликристаллический, предназначенный для изготовления эпитаксиальных структур и электронных полупроводниковых приборов.
Для характеристики отдельных марок арсенида галлия вводятся следующие обозначения:
АГ - собственно арсенид галлия;
Н или Ч - метод выращивания (горизонтальная направленная кристаллизация, Ч - вытягивание по Чохральскому из-под флюса);
Т, О, Ц, К, Х -легирующая примесь (Т - теллур, О - олово, Ц - цинк, К - кремний, Х - хром);
П - полуизолирующий;
М - для модуляторов;
С - индекс марок АГНК с увеличенной площадью сечения слитков;
а, б, в - группы по допустимому отклонению концентрации о.н.з.;
к - калиброванный слиток;
(100) - ориентация плоскости среза слитка, выращенного в направлении [100].
При несовпадении обозначения ориентации плоскости среза и направления выращивания слитка при заказе марки ориентацию плоскости среза указывают после слова "срез":...срез (100)... .
В форме заказа последовательно указывают: материал, метод выращивания, легирующую примесь или назначение материала, ориентацию плоскости среза слитка, номинальное значение диаметра слитка, номинальное значение концентрации о.н.з. в скобках, группу отклонения концентрации о.н.з., допустимую плотность дислокаций.
Предпочтительное значение концентрации о.н.з. х10-11. см -3 (п=16-20):
1,0; 1,2; 1,4; 1,6; 2,0; 2,5; 3,2; 4,0; 5,0; 6,5; 8,0.
Например: Запись при заказе арсенида галлия, выращенного по Чохральскому:
АГЧТ(111)42(2-18)б8, ТУ 48-4-276-92,
АГЧП(100)40к5, ТУ 48-4-276-92, где АГЧТ, АГЧП - марки арсенида галлия;
(111) - ориентация плоскости среза слитка, выращенного в направлении [111];
(100) - ориентация плоскости среза стилка, выращенного в направлении [100];
42, 40 - номинальное значение диаметра, мм;
(2-18) - номинальное значение концентрации о.н.з. 2.10 18 см -3;
б - группа по допустимому отклонению концентрации о.н.з.;
8,5 - допустимая плотность дислокаций, соответсвенно, 8.104 и 5.104 , см-2 ;
к - калиброванный слиток;
ТУ 48-4-276-92 - номер настоящих ТУ.
Если для данной марки предусмотрено единственное значение одного из параметров, допускается его не указывать.
Например:
АГЧТ20(5-18)а8.
Запись при заказе арсенида галлия, выращенного методов горизонтальной направленной кристаллизации:
АГН2(100)0,5, ТУ 48-4-276-92,
АГНК1(111)0,05, ТУ 48-4-276-92, где
АГН2, АГНК1 - марки арсенида галлия;
(100) - на одном торце выведена плоскость (100);
(111) - ориентация плоскости среза слитка;
0,5, 0,05 - допустимая плотность дислокаций, соответсвенно, 0,5.104 ... 0,05.104 , см-2;
ТУ 48-4-276-92 - номер настоящий ТУ.
Снят срок ограничения действия. |