Описание ТУ 301-14-78-92: Настоящие технические условия распространяется на хладон 14 (химическое название - тетрафторметан, символическое обозначение - R 14).
Хладон 14 применяют для плазмохимического травления диэлектриков при изготовлении интегральных схем, в качестве хладоагента, ингибитора пламени, стабилизатора разложения озона, разбавителя при проведении химических реакций, реагента для получения фторорганических продуктов.
Хдадон 14 - бесцветный газ со слабым запахом тетрахлорметана, сжатый под давлением.
Относительная молекулярная масса (по международным атомный массам 1985 г.) - 83,005.
Формула CF4
Температура кипения минус 128,0 °С.
Температура плавления минус 184 °С.
Критическая температура минус 45,45 °С.
Критическое давление 3,74 Ша.
Технические условия соответствуют международному стандарту ИСО 8I7-74(E) в части химического названия, формулы и символического обозначения.
Торговое наименование "Хладон 14", химическое наименование и символическое обозначение R 14 является равнозначными для обозначения продукта в технической документации.
Требования к качеству продукции, обеспечивающие безопасность для жизни и здоровья населения, охрану окружащёй среды, изложены в разделах 1 (п. 1.3; 1.4 в 1.5), 2 и 5.
Обозначение продукта при заказе и в документации другой продукции, в которой он может быть применен: "Хладон 14, ТУ 301-14-78-92."
Требования настоящих технических условий является обязательными. |