|
Ваше положение в каталоге нормативных документов: |
|
Методы испытаний. Упаковка. Маркировка - Каталог ОСТ |
|
|
Номер: |
Название: Структуры кремниевые эпитаксиальные.Определение плотности дефектов упаковки и плотности дислокаций в эпитаксиальных слоях толщиной более 2,5 мкм. |
ОКС: 290.35.30 |
Вступил в действие: 01.01.1978 |
Изменения: 1/84, 2/85, 3/87 |
Страниц: 27 |
Описание ОСТ 11 032.059-77: Настоящий стандарт распространяется на однослойные кремниевые эпитаксиальные структуры и эпитаксиальные структуры со скрытыми (сплошными и дискретными) диффузионными слоями.
Стандарт устанавливает метод определения плотности дефектов упаковки и дислокаций путем подсчета на оптическом микроскопе фигур травления, образовавшихся из соответствующих дефектах структуры, после селективного травления.
Этот метод применим для структур (образцов) диаметром от 30 до 60 мм с толщиной эпитаксиального слоя более 2,5 мкм на подложках с ориентацией {111} более 5 мкм на подложках с ориентацией {100} при среднем уровне плотности дефектов от 5·10² до 1·10⁵ см⁻².
Снят срок ограничения действия. |
ОСТ 11 032.059-77 расположен в разделе: Методы испытаний. Упаковка. Маркировка - Каталог ОСТ. [Открыть] |
Файлы документа в наличии: ОСТ 11 032.059-77.pdf передан 27.12.2021 |
Документ ОСТ 11 032.059-77 предоставлен участником портала. |
Варианты получения документа ОСТ 11 032.059-77:
Получите бесплатный доступ к ОСТ 11 032.059-77.
Передайте в библиотеку один отсутствующий в ней документ (ГОСТ, ОСТ или ТУ)
и Вам будет открыт доступ к любым двум нормативным документам, имеющимся в библиотеке портала.
Приобретите доступ к 10 нормативным документам.
Стоимость услуги - 4000р.
На неограниченный срок Вы получаете возможность скачать любой уже имеющийся в библиотеке портала документ
либо дождаться поступления еще отсутствующего документа. Благодаря системе обмена документами наша библиотека ежедневно пополняется множеством
нормативных документов.
Пакетный доступ к 10 документам позволяет сэкономить на стоимости отдельного документа, которая в некоторых случаях может даже превосходить стоимость доступа
к 10 документам.
Получите доступ к 30 нормативным документам и другим сервисам портала на тарифе «Стандарт».
Стоимость услуги - 15000р.
Это предложение для организаций, которые заинтересованы не только в получении сотрудниками доступа к нормативной документации, но и в представлении
своей продукции и услуг, а так же в продвижении своего сайта в поисковых системах. Тариф «Стандарт» предоставляет комплексный доступ к ресурсам портала,
при грамотном и полном использовании которого Вы сможете получить значительный отклик в виде новых клиентов и улучшившейся посещаемости сайта организации.
В качестве бонуса в тариф «Стандарт» включен доступ к марочнику металлов и сплавов сроком на один год.
Приобретите доступ к документу ОСТ 11 032.059-77
Стоимость услуги - 972,00р.
Обратите внимание на возможность приобрести доступ к 10 документам за 4000р.
или получить документ бесплатно по обмену.
Если Вы обладаете новыми изменениями к документу ОСТ 11 032.059-77, не указанными в карточке, Вы можете передать их в библиотеку и принять участие
в программе обмена документами (получить ответный доступ к двум документам).
|
|
|
|
Авторизоваться в системе: |
|
|
|